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磁控溅射镀膜机

非标定做小型磁控溅射镀膜机,满足高校、研究所教学和科研使用

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  • 地   址:
    北京 大兴区 旧桥路25号院
加工定制:是品牌:wayes-vac型号:wayes-ckjs
测量范围:0.0001Pa

磁控溅射镀膜机详细介绍

此款小型磁控溅射镀膜机具备以下几个优点:

 

  1. 目前高校包括研究所的实验室面积都比较紧张,所以此款小型磁控溅射镀膜机紧凑的设

   计更为合适;

 

2、配置3个3英寸可调节高度及角度的电控挡板磁控溅射靶(可选择高磁靶可镀铁、镍
  等磁性材料);

 

3、配置1个4英寸可旋转、可加热、可加装偏压电源的样品台;

 

4、配置离子活化装置;

 

5、配置内隔板便于清理和带挡板的观察窗;

 

6、配置腔室烘烤加热装置;

 

7、配置高真空获得及测量装置;

 

  1. 配置膜厚实时监控测量装置

 

  1. 配置3路质量流量计充气系统。









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